Zero level metal thin film package for RF MEMS
Fabien Barrière
(1)
,
Aurelian Crunteanu
(1)
,
Annie Bessaudou
(1)
,
Arnaud Pothier
(1)
,
Françoise Cosset
(1)
,
David Mardivirin
(1)
,
Pierre Blondy
(1)
Aurelian Crunteanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6267
- IdHAL : aurelian-crunteanu
- ORCID : 0000-0001-8648-5368
- IdRef : 070472173
Arnaud Pothier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7503
- IdHAL : arnaud-pothier
- ORCID : 0000-0001-8858-0545
- IdRef : 078012015
Françoise Cosset
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6372
- IdHAL : francoise-cosset
- IdRef : 07662868X