Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma - Université de Limoges
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Pascal Tristant
Axe 2 : procédés de traitements de surface
G. Sanchez
  • Fonction : Auteur
Christelle Dublanche-Tixier
Axe 2 : procédés de traitements de surface
Aurelian Crunteanu
MINACOM
A. Bologna-Alles
  • Fonction : Auteur
Pierre Blondy
MINACOM
Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Florent Tetard
Propriétés mécaniques et thermodynamiques des matériaux

Marie-Laure Guillat  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://unilim.hal.science/hal-00437760

Soumis le : mardi 1 décembre 2009-14:01:44

Dernière modification le : lundi 30 septembre 2024-15:52:25

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00437760 , version 1 (01-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437760 , version 1

Citer

Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Premier Colloque Francophone sur les Matériaux, les Procédés et l'Environnement, May 2009, Busteni, Romania. pp.45-48. ⟨hal-00437760⟩

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