%0 Conference Proceedings %T Design of ohmic miniature MEMS components for fast reconfiguration %+ MINACOM %+ Axe 2 : procédés de traitements de surface %+ Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (CNES) %+ ALCATEL SPACE (ASP) %A Verger, Aurélie %A Pothier, Arnaud %A Guines, Cyril %A Crunteanu, Aurelian %A Blondy, Pierre %A Orlianges, Jean-Christophe %A Dhennin, Jérémy %A Courtade, Frédéric %A Vendier, Olivier %< avec comité de lecture %( MEMSWAVE 2011, 12th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems %B MEMSWAVE 2011, 12th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems %C Athênes, Greece %P Présentation orale %8 2011-06-27 %D 2011Conference papers %G English %L hal-00684094 %U https://unilim.hal.science/hal-00684094 %~ UNILIM %~ CNRS %~ CNES %~ SPCTS %~ SPCTS-AXE2 %~ XLIM %~ XLIM-MINACOM %~ IPAM %~ INC-CNRS %~ IRCER %~ IRCER-AXE2 %~ IMPEO %~ TEST2-HALCNRS