%0 Conference Proceedings %T A micro-machined tunable cavity resonator %+ Institut de Recherche en Communications Optiques et Microondes (IRCOM) %+ Axe 2 : procédés de traitements de surface %A Mercier, Denis %A Chatras, Matthieu %A Orlianges, Jean-Christophe %A Blondy, Pierre %A Cros, Dominique %< avec comité de lecture %( European Microwave Conference %B European Microwave Conference 2003 %C Germany %P 55 %8 2003-10-23 %D 2003 %Z Engineering Sciences [physics]Conference papers %G English %L hal-00915925 %U https://unilim.hal.science/hal-00915925 %~ UNILIM %~ CNRS %~ SPCTS %~ SPCTS-AXE2 %~ XLIM %~ XLIM-MINACOM %~ IPAM %~ INC-CNRS %~ IRCER %~ IRCER-AXE2 %~ IMPEO %~ TEST2-HALCNRS