Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
David Mardivirin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919510
Stanis Courrèges
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919469
Arnaud Pothier
Aurelian Crunteanu
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00933633 , version 1 (20-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933633 , version 1

Citer

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩
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