%0 Conference Proceedings %T Réalisation et optimisation d’un micro-résonateur piézoélectrique à très fort coefficient de qualité %+ MINACOM (XLIM-MINACOM) %+ Axe 2 : procédés de traitements de surface %A Mortada, Oussama %A Orlianges, Jean-Christophe %A Chatras, Matthieu %A Crunteanu, Aurelian %A Blondy, Pierre %< avec comité de lecture %B Journées nationales micro-ondes %C bordeaux, France %8 2015-06-02 %D 2015 %Z Engineering Sciences [physics]/ElectronicsConference papers %G French %L hal-01212257 %U https://unilim.hal.science/hal-01212257 %~ UNILIM %~ CNRS %~ SPCTS %~ SPCTS-AXE2 %~ XLIM %~ XLIM-MINACOM %~ IPAM %~ INC-CNRS %~ IRCER %~ IRCER-AXE2 %~ IMPEO %~ TEST2-HALCNRS