A study on controllable aluminum doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application
A.A Ralib
,
A.N Nordin
,
N.A Malik
,
R Othman
,
A.H.M Zahirul Alam
,
S Khan
,
Oussama Mortada
(1)
,
Aurelian Crunteanu
(1)
,
Jean-Christophe Orlianges
(2)
,
Matthieu Chatras
(1)
,
Pierre Blondy
(1)
A.A Ralib
- Fonction : Auteur
A.N Nordin
- Fonction : Auteur
N.A Malik
- Fonction : Auteur
R Othman
- Fonction : Auteur
A.H.M Zahirul Alam
- Fonction : Auteur
S Khan
- Fonction : Auteur
Aurelian Crunteanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6267
- IdHAL : aurelian-crunteanu
- ORCID : 0000-0001-8648-5368
- IdRef : 070472173
Jean-Christophe Orlianges
- Fonction : Auteur
- PersonId : 972
- IdHAL : j-c-orlianges
Matthieu Chatras
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6234
- IdHAL : matthieu-chatras
- IdRef : 083957979
Pierre Blondy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 915831