%0 Conference Proceedings %T Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques %+ RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie (XLIM-RFEI) %A Mortada, Oussama %A Orlianges, Jean-Christophe %A Crunteanu, Aurelian %A Chatras, Matthieu %A Blondy, Pierre %< avec comité de lecture %B Journées nationales micro-ondes %C Saint Malo, France %8 2017-05-16 %D 2017 %Z Engineering Sciences [physics]/ElectronicsConference papers %G French %L hal-01566490 %U https://unilim.hal.science/hal-01566490 %~ UNILIM %~ CNRS %~ XLIM %~ XLIM-RFEI %~ TEST-HALCNRS