Recherche - Université de Limoges Accéder directement au contenu

Filtrer vos résultats

6 Résultats
Auteur : personID (entier) : 849618

Microstructure control of AIN films by PECVD for SAW applications

Gustavo Sanchez , C. Tixier , Pascal Tristant , A. Bologna Alles
16th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 07, Jun 2007, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-00286365v1

Couches minces piézoélectriques de nitrure d'aluminium pour application dans des dispositifs à ondes acoustiques.

Gustavo Sanchez , Aurelian Crunteanu , Christelle Dublanche-Tixier , Pascal Tristant , A. Bologna-Alles , et al.
10èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, JCMM 2008, Apr 2008, LIMOGES, France. pp.Session Orale 7 : 07-4
Communication dans un congrès hal-00358855v1

Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez , Pascal Tristant , Christelle Dublanche-Tixier , Florent Tetard , A. Bologna
Surface and Coatings Technology, 2013, pp.SCT-18981. ⟨10.1016/j.surfcoat.2013.10⟩
Article dans une revue hal-00985449v1

Polycrystalline AlN films with preferential orientation by plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez , A. Wu , Pascal Tristant , C. Tixier , Bernard Soulestin , et al.
Thin Solid Films, 2008, 516, pp.4868-4875. ⟨10.1016/j.tsf.2007.09.030⟩
Article dans une revue istex hal-00276141v1

Thin films of aluminum nitride with PECVD through applications with piezoelectrics

Gustavo Sanchez , Pascal Tristant , Christelle Dublanche-Tixier , A. Bologna Alles
Ingenieria Quimica, 2008, 34, pp.9-16
Article dans une revue hal-00402462v1

Microstructure and mechanical properties of AlN films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez , B. Abdallah , Pascal Tristant , Christelle Dublanche-Tixier , M. A. Djouadi , et al.
Journal of Materials Science, 2009, 44 (22), pp.6125-6134. ⟨10.1007/s10853-009-3847-3⟩
Article dans une revue istex hal-00450865v1