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Microstructure control of AIN films by PECVD for SAW applications
Gustavo Sanchez
,
C. Tixier
,
Pascal Tristant
,
A. Bologna Alles
16th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 07, Jun 2007, Toulouse, France
Communication dans un congrès
hal-00286365v1
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Couches minces piézoélectriques de nitrure d'aluminium pour application dans des dispositifs à ondes acoustiques.
Gustavo Sanchez
,
Aurelian Crunteanu
,
Christelle Dublanche-Tixier
,
Pascal Tristant
,
A. Bologna-Alles
,
et al.
10èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, JCMM 2008, Apr 2008, LIMOGES, France. pp.Session Orale 7 : 07-4
Communication dans un congrès
hal-00358855v1
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Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
Gustavo Sanchez
,
Pascal Tristant
,
Christelle Dublanche-Tixier
,
Florent Tetard
,
A. Bologna
Article dans une revue
hal-00985449v1
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Polycrystalline AlN films with preferential orientation by plasma enhanced chemical vapor deposition
Gustavo Sanchez
,
A. Wu
,
Pascal Tristant
,
C. Tixier
,
Bernard Soulestin
,
et al.
Article dans une revue
istex
hal-00276141v1
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Thin films of aluminum nitride with PECVD through applications with piezoelectrics
Gustavo Sanchez
,
Pascal Tristant
,
Christelle Dublanche-Tixier
,
A. Bologna Alles
Ingenieria Quimica, 2008, 34, pp.9-16
Article dans une revue
hal-00402462v1
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Microstructure and mechanical properties of AlN films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition
Gustavo Sanchez
,
B. Abdallah
,
Pascal Tristant
,
Christelle Dublanche-Tixier
,
M. A. Djouadi
,
et al.
Article dans une revue
istex
hal-00450865v1
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