Recherche - Université de Limoges Accéder directement au contenu

Filtrer vos résultats

1 Résultat
Auteur : personID (entier) : 955774

Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez , Pascal Tristant , Christelle Dublanche-Tixier , Florent Tetard , A. Bologna
Surface and Coatings Technology, 2013, pp.SCT-18981. ⟨10.1016/j.surfcoat.2013.10⟩
Article dans une revue hal-00985449v1