Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma

Said Touimi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915589
Annie Bessaudou
Armand Passelergue
A. Aubreton
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00438452 , version 1 (03-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00438452 , version 1

Citer

Said Touimi, Isabelle Jauberteau, Sébastien J. Weber, Annie Bessaudou, Armand Passelergue, et al.. Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma. Innovations in Thin Films Processing and Characterization (IFTPC), Nov 2009, Nancy, France. ⟨hal-00438452⟩
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