Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique. - Université de Limoges
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.

Domaines

Matériaux Matériaux

BEATRICE DERORY  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://unilim.hal.science/hal-02072436

Soumis le : mardi 19 mars 2019-10:56:13

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:15

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02072436 , version 1 (19-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02072436 , version 1

Citer

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.. Journées MAT2VL 2019, Jan 2019, Blois, France. ⟨hal-02072436⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNILIM CNRS SPCTS SPCTS-AXE2 IPAM INC-CNRS IRCER IRCER-AXE2 IMPEO
44 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More